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硅片表面清洗用高温空气能热泵热水系统

来源:开云app下载最新版  发布时间:2024-5-28 16:21:36  点击量:

  在生产中,对于硅片表面的清洗中常用RCA方法及基于RCA清洗方法的改进,清洗时,一般应在7585℃条件下清洗、清洗15分钟左右,然后用去离子水冲洗干净。可以很好的清洗硅片上残存的蜡、松香等有机物及一些重金属如金、铜等杂质;

 

  开云app在线下载高温空气能热泵可以满足75-85度热水清洗需求,商用和民用热泵技术在国外已相当普及,及其高效、节能、环保、利用可再生资源等众多众所周知的优势在近几年得到了迅速发展。目前市场上的热泵设备主要以低温热泵为主,热泵的输出温度低于55℃,其主要缺点是出水温度低,受到地区性和项目使用特性的限制,使用范围不广,开云app在线下载高温空气源热泵技术在这方面取得了一定的突破,其主要表现在于。

 

  1.输出热水温度高:最高输出热水温度为85℃。

 

  2.运行费用低:采用高温空气源热泵设备,在20℃环境温度下,产生80℃热水,其费用只是电加热的40%,是燃油(气)的60%

 

  3.采用专用制冷剂,换热效率高并对环境没有污染,绿色环保。

 

  4、根据去离子水的要求,热泵可采用专用过流材质防止对原有水质的破坏;

 

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